第二十四章 光刻·实验室里的微光

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  省分厂的光学实验室,是用轻钢棚改造的,四壁糊着两层防尘布,地上铺着防静电胶垫,唯一的窗户蒙着深色遮光膜,只漏进一缕微弱的天光。

  我站在棚中央,看着面前的土法光刻台——这是陈曦博士的心血,用国产光学镜片、自制感光胶和旧机床改造而成,金属支架上还沾着未清理的焊锡,却透着一股不服输的硬气。林静的虚拟身影悬浮在光刻台旁,手里拿着一枚硅片,她指尖轻点,投影出放大十倍的电路版图,淡金色的线条在半空中铺开,像一张精细的蛛网:“感光胶已经涂好了,接下来要曝光、显影、蚀刻,每一步误差都不能超过0.1微米。

  陈曦已经算过,这台光刻台的精度能到1.4微米,足够刻出霜花-丙的栅极。”陈曦的虚拟身影也凑了过来,他推了推虚拟眼镜,语气带着一丝紧张:“曝光时间是关键,太长会糊,太短刻不清晰。

  我做了十次模拟,最佳时间是45秒,咱们得盯着计时器,一秒都不能差。”聂小红搬来一台旧闹钟,放在光刻台边,指针“滴答”作响,像在为即将开始的实验倒计时:“我已经把实验室的门反锁了,外面安排了暗哨,谁也别想进来捣乱。

  典狱长,开始吧?”我深吸一口气,戴上防静电手套,小心翼翼地把硅片放在光刻台的载物台上。

  遮光膜外传来风卷黄沙的声音,棚内却静得能听见自己的心跳。顾骁站在门口,手里握着对讲机,随时准备应对突发情况——上次省电子厂的人没占到便宜,谁也说不准会不会再来搞破坏。

  “开灯。”我轻声说。陈曦按下开关,光刻台上方的紫外灯亮起,淡紫色的光笼罩着硅片,像一层薄纱。闹钟的指针开始转动,45秒,像一个世纪那么漫长。我死死盯着硅片,手心的汗透过手套渗出来,沾在载物台上。“10秒、9秒……3秒、2秒、1秒!关灯!”陈曦突然喊。

  紫外灯熄灭,棚内重新陷入昏暗。林静立刻递来显影液,我用滴管小心地滴在硅片上,液体顺着硅片边缘流下,渐渐显露出淡褐色的电路纹路——线条清晰,没有糊边,栅极的宽度均匀得像用尺子量过。“成了!”聂小红忍不住欢呼,声音压得极低,却难掩兴奋。

  陈曦的虚拟身影晃了晃,语气里带着激动:“快,送去蚀刻!只要蚀刻成功,霜花-丙的核心步骤就完成了!”蚀刻间就在隔壁棚,里面放着一台自制的蚀刻机,用硝酸和氢氟酸按比例调配的蚀刻液在玻璃槽里泛着淡绿色的光。我把硅片放进蚀刻槽,看着电路纹路一点点变得清晰,心里像揣了只兔子,怦怦直跳。顾骁走进来,手里拿着一份电报:“杜组长来电,军工处催得紧,让我们半个月内先交一千只霜花-丙,用于边境通讯设备。”

  “半个月?”聂小红皱起眉,“现在每天只能刻十片硅片,一千只至少要一个月!”“能加快。”林静突然开口,她投影出一张新的流程图,“我们可以两班倒,白天刻硅片,晚上蚀刻、蒸铝,再把监狱里的博士们都调过来,同步处理数据。另外,我发现感光胶可以提前一天涂好,放在恒温箱里保存,能省不少时间。”

  我点头,心里有了主意:“聂小红,你去调人,把县城生产线的技术员调一半过来,再从黑市弄点氢氟酸,保证蚀刻液供应;顾骁,你跟杜组长说,半个月内一定交货,但要他协调运输,成品得用恒温车送,不能冻坏;林静、陈曦,你们负责优化流程,把每天的产量提到五十片。”接下来的半个月,光学实验室成了不夜城。白天,紫外灯的淡紫色光透过遮光膜,在棚外映出一圈朦胧的光晕;夜里,蚀刻机的“嗡嗡”声、蒸铝设备的“嘶嘶”声,与闹钟的“滴答”声交织在一起,像一首永不停歇的战歌。

  我和顾骁轮班守在棚里,有时累得直接趴在光刻台边睡,醒来继续干,眼睛里布满血丝,却没人喊停。有天凌晨,我正在蒸铝,突然听见外面传来异响。顾骁立刻抄起枪,冲了出去,没过多久,他押着一个穿黑衣的人进来,那人手里还攥着一瓶硫酸,瓶口冒着白烟——是省电子厂的人,想趁夜泼硫酸毁了光刻台。

  “张厂长派你来的?”我盯着那人,语气冷得像冰。那人哆哆嗦嗦地点头,说不出一句完整的话。顾骁直接把他交给了保卫科,临走前,他回头看了一眼光刻台,眼神里带着后怕:“还好发现得早,不然咱们半个月的心血就全毁了。”

  我握紧拳头,心里的火更旺了:“越有人想毁我们,我们越要做好!明天就是交期,咱们加把劲,一定要按时交货!”交期那天清晨,第一千只霜花-丙封装完成。我把它们装进恒温箱,铝壳在晨光下泛着银亮的光,像一千颗小小的星星。杜组长亲自来接货,看着恒温箱里的晶体管,他忍不住感叹:“沈墨同志,你们创造了奇迹!没有进口设备,没有充足的原料,却能在半个月内造出一千只合格的军工晶体管,省里没看错你们!”我笑了,目光落在光学实验室的方向——那里的紫外灯还亮着,淡紫色的光透过遮光膜,像一缕不肯熄灭的微光。这微光,不仅照亮了实验室,更照亮了我们自己造芯片的路。

  “杜组长,这只是开始。”我指着恒温箱里的霜花-丙,“接下来,我们要把光刻精度提到1微米,要造更高级的芯片,要让霜花的名字,传遍全国。”风还在吹,却吹不散我们心里的火。光学实验室的微光,正一点点汇聚成火炬,照亮了荒地上的希望。
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