第415章 暗室微光

　　江州，江钢老厂区，墨子实验室。

　　死寂。

　　比之前的失败更令人绝望的死寂。

　　实验室中央，那台价值昂贵的日立扫描电子显微镜屏幕上，显示着冰冷的“Service Locked”（服务锁定）。这是厂商通过远程固件升级，强制锁死了设备的核心功能。

　　旁边的KLA暗场缺陷检测仪，同样处于瘫痪状态。

　　赵博士手里拿着一片刚刚显影出来的晶圆，手在微微颤抖。

　　“林董，我们……我们现在是瞎子。”

　　“我们刚刚试制了第107号配方。理论上，这次我们用电解抛光的不锈钢桶解决了金属离子污染问题。但是……”

　　赵博士指着那片晶圆，声音带着哭腔：

　　“我们看不见上面的图形。”

　　“光刻胶的线宽只有40纳米。肉眼看不见，光学显微镜看不见。没有SE我们根本不知道线条是直的还是弯的，不知道侧壁有没有坍塌，不知道沟槽里有没有残留。”

　　“我们连是成是败都不知道，怎么优化？”

　　这就好比蒙着眼睛雕刻大米，你甚至不知道自己刻的是字还是划痕。

　　王海冰站在一旁，脸色铁青：“我联系了国内的几家检测设备厂，他们的精度只能做到90纳米，对于ArF浸没式光刻胶的验证，完全不够用。”

　　检测设备的缺失，直接切断了研发的反馈闭环。

　　林远看着那台被锁死的显微镜，目光幽深。

　　“物理的眼睛瞎了。”

　　“那我们就用……数学的眼睛。”

　　林远没有废话，直接拿起了电话。

　　“汪韬，带上你的人，还有盘古视觉大模型，马上来江钢。”

　　“另外，让汉斯把他在德国的光学实验室团队也拉进视频会议。”

　　一小时后，临时作战室。

　　林远在白板上画了一个激光照射晶圆的示意图。

　　“我们没有电子显微镜，没法直接看到微观结构。”

　　“但是，我们有激光。”

　　“当激光照射到晶圆表面那些微小的电路结构时，会发生衍射和散射。”

　　“这些散射光，虽然看起来是一团乱麻，但它包含了表面结构的所有信息。”

　　林远看向汪韬和汉斯。

　　“我要你们做一套光学散射测量系统。”

　　“硬件不需要复杂的透镜。只需要一个高精度的激光光源，和一个能捕捉散射光斑d传感器。这个我们自己能搭出来。”

　　“软件这才是核心。”

　　“汪总，我要你用盘古模型，去解麦克斯韦方程组的逆问题。”

　　“即：根据接收到的散射光斑，反向推算出晶圆表面的三维形貌。”

　　“这在数学上叫相位恢复。”

　　汪韬推了推眼镜，眼中闪过一丝狂热，但也有一丝犹豫。

　　“理论上可行。这叫计算成像。但是，计算量是天文数字。”

　　“要从一堆杂乱的光斑里，猜出纳米级的结构，每一次测量，都需要进行数亿次的迭代运算。”

　　“按照现在的算力，检测一片晶圆，可能需要一个月。”

　　“太慢了。”王海冰摇头，“产线等不起。”

　　“那就用库。”汉斯突然开口。

　　“我们可以预先建立一个庞大的散射特征库。”汉斯解释道，“我们模拟出千万种可能的光刻胶缺陷形态，如倒塌、桥接、驻波，然后计算出它们对应的散射光斑。”

　　“当实际测量时，我们不需要实时解方程。”

　　“我们只需要把测到的光斑，去和数据库里的样本进行指纹比对！”

　　“这就变成了AI图像识别问题。”

　　“这个我在行！”汪韬猛地一拍大腿，“用盘古做特征匹配，毫秒级就能出结果！”

　　“但这需要海量的训练数据。”

　　“数据我有。”林远从公文包里拿出一个硬盘，“这是我们之前在AS做测试时，偷偷保存下来的，几百万张缺陷扫描图和对应的散射数据。”

　　“那是我们的种子。”

　　疯狂的盲人摸象。

　　方案确定，立刻执行。

　　这是一套极其简陋，却又极其科幻的检测系统。

　　没有昂贵的镜头，没有真空腔体。

　　只有一个暗盒，一束激光和一个连接着青川智算中心的数据线。

　　“第108号样品，上机。”

　　激光打在晶圆上，反射出一圈圈迷离的光晕。

　　数据疯狂上传。

　　青川，数千张GpU卡全速运转，在浩瀚的数据库中寻找匹配的指纹。

　　五分钟后。

　　屏幕上，不再是模糊的照片，而是一个由计算机生成的3d模型。

　　模型清晰地显示：光刻胶的线条边缘，出现了锯齿状的“驻波效应”。

　　“看清了！”赵博士激动得跳了起来，“是驻波！是因为底部抗反射涂层的折射率没调好！”

　　“调整bARc配方！折射率增加0.02！再试！”

　　虽然这套系统的精度约2纳米不如SE速度也慢，但它让墨子团队，终于在黑暗中，看到了一丝微光。

　　闭环，重新接通了。

　　解决了看的问题，接下来是更难的造的问题。

　　江钢集团，焦化厂，精制车间。

　　这里是江钢最脏、最臭的地方。黑色的煤焦油在巨大的管道中流淌，空气中充满了硫化氢和苯的味道。

　　谁能想到，纳米级光刻胶的源头，竟然是这一堆黑乎乎的粘稠液体。

　　林远穿着厚重的防护服，站在一座高达60米的巨大精馏塔前。

　　孙大炮指着这座刚刚改造完成的巨塔，声音在防毒面具后显得有些闷。

　　“主任，这是我们按您的要求，用316L电解抛光不锈钢重新焊的超级精馏塔。”

　　“塔高68米，内部填充了相当于200层楼高的规整填料。”

　　“我们的目标，是从煤焦油里，提炼出纯度达到99.9999%（6N）的间甲酚。”

　　间甲酚，是合成光刻胶树脂的核心单体。

　　日本信越化学，就是靠着对这种单体提纯技术的绝对垄断，卡住了全世界的脖子。

　　“现在的纯度是多少？”林远问。

　　“99.9%（3N）。”孙大炮无奈地摇摇头，“这已经是工业级的极限了。再往上提，每提高一个9，难度就是指数级上升。”

　　“主要杂质是什么？”

　　“同分异构体，对甲酚。”

　　孙大炮解释道：“间甲酚和对甲酚，沸点只差0.3度！在普通的精馏塔里，它们根本分不开，就像水和奶混在一起一样。”

　　“日本人是用结晶法分离的，那是他们的核心机密，我们搞不到。”

　　0.3度的沸点差。

　　这就是横亘在中国光刻胶产业面前的，一道天堑。

　　“不能用结晶法，那就死磕共沸精馏。”

　　汉斯走了过来，手里拿着一张复杂的化工流程图。

　　“林，孙，德国人在二战时期缺油，就是靠煤化工活下来的。我们有经验。”

　　“0.3度分不开，那就加第三者。”

　　“我们往里面加一种特殊的夹带剂。这种剂只喜欢跟对甲酚结合，形成共沸物，把它的沸点拉低5度。”

　　“这样，沸点差就扩大到了5度。精馏塔就能分开了。”

　　“什么夹带剂？”孙大炮问。

　　“这需要试。”汉斯耸耸肩，“可能是乙二醇，可能是尿素，也可能是某种复杂的有机胺。”

　　“我们用盘古来试。”林远再次祭出了AI。

　　“汪总，把已知的2万种化工溶剂的分子式输入模型。模拟它们与甲酚的分子间作用力。”

　　“筛选出最可能的100种夹带剂。”

　　“然后，孙总，你的任务就是烧。”

　　“在实验室里，用这100种剂，没日没夜地烧！直到试出来为止！”

　　这是一场暴力穷举的化学实验。

　　没有捷径，只有试错。

　　接下来的一个月，江钢焦化厂的灯光，彻夜未熄。

　　爆炸、泄漏、中毒……

　　实验并不顺利。好几次，因为反应釜压力过大，差点把实验室掀翻。

　　但没人退缩。

　　孙大炮直接把铺盖卷搬到了车间门口。

　　“老子就不信了，炼钢能炼出花来，炼个油还能被尿憋死？”

　　第83次实验。

　　失败。纯度99.95%。

　　第156次实验。

　　失败。纯度99.99%。

　　第214次实验。

　　时间已经到了最后期限。国内晶圆厂的显影液库存，只剩下最后三天。

　　中芯国际的老总已经把电话打到了郑宏图书记那里，请求国家出面协调进口。

　　压力，全部压在了林远身上。

　　这天凌晨。

　　汉斯突然冲进了林远的办公室，手里举着一个小小的玻璃瓶。

　　瓶子里，是一种无色、透明、散发着淡淡杏仁味的液体。

　　“林！成功了！”

　　“我们用乙二胺 特制分子筛的组合，成功把沸点差拉大到了8度！”

　　“这是刚刚出来的色谱分析报告。”

　　林远接过报告，目光直接落在了最后一行。

　　纯度：99.%（6N）。

　　金属离子：＜ 5 ppb。

　　“合格了！”

　　林远的手，微微颤抖。

　　这瓶看似普通的液体，是中国半导体材料史上的一座丰碑。

　　它意味着，我们终于打破了日本对高纯单体长达三十年的垄断。

　　有了高纯单体，“墨子材料”的配方终于发挥了威力。

　　再加上“计算成像”检测系统的辅助，光刻胶的良率开始爬坡。

　　30%……60%……85%……

　　一周后。

　　第一批500公斤国产ArF浸没式光刻胶，连同配套的显影液，被紧急运往了中芯国际的生产线。

　　上机测试。

　　曝光，显影，刻蚀。

　　当最终的良率报告出来时，中芯的总工沉默了。

　　良率：99.2%。

　　这不仅达到了日本货的水平，甚至在某些关键层，如多晶硅栅的刻蚀选择比上，超过了日本JSR的产品！

　　为什么？

　　因为这是“定制化”的。

　　日本人的胶是通用的，而林远的胶，是根据国内光刻机的特定光源参数，用AI进行过分子级适配的。

　　这就是全产业链闭环的威力。

　　江州。

　　林远看着那一桶桶正在装车的国产光刻胶，脸上并没有太多喜色。

　　他知道，萧若冰不会就这样认输。

　　材料战，她输了。

　　但她手里还有最后一张，也是最恶心的一张牌专利。

　　“老板，”顾盼走了过来，神色凝重。

　　“刚刚收到律师函。”

　　“信越化学和JSR，联合在海牙国际法庭和美国Itc，对墨子材料和江南之芯提起了专利诉讼。”

　　“他们指控我们的光刻胶树脂结构，侵犯了他们第Jp-2015-xxxx号基础专利。”

　　“那是保护基团的化学结构专利。”

　　“只要我们用了这种化学键，就是侵权。”

　　“他们要求全球禁售，并赔偿50亿美金。”

　　林远接过律师函，看了一眼那复杂的分子式结构图。

　　“保护基团？”

　　林远冷笑一声。

　　“他们以为，化学结构只有这一种写法吗？”

　　他看向旁边的李振声教授和汉斯。

　　“启动分子异构计划。”

　　“用我们的盘古大模型，去计算出一种，化学性质完全相同，但分子结构完全不同的全新保护基团！”

　　“我们要用AI，去绕开他们的专利墙。”

　　“不仅要绕开。”

　　林远眼中闪过一丝狠厉。

　　“我们还要把这种新结构，申请成专利！”

　　“然后，反过来，去告他们术落后！”
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